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應(yīng)用解決方案

半導(dǎo)體與器件

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自動化半導(dǎo)體參數(shù)測試解決方案

自動化半導(dǎo)體參數(shù)測試系統(tǒng)

針對大規(guī)模測試，如晶元上多點測試，復(fù)雜系統(tǒng)的自動化測試，自動化半導(dǎo)體參數(shù)測試系統(tǒng)（S500/S530/S540），支持各類晶元Wafer和MEMS的自動化、半自動化參數(shù)測試。廣泛用于晶元的
  • 失效分析測試（FA）
  • 質(zhì)量控制測試（QA）
  • 可靠性分析測試（RA）。其中S540支持高壓功率半導(dǎo)體自動化參數(shù)測試。

S530 功能

  • 靈活的探測器接口選項，包括測試頭，支持原有吉時利和 Keysight 裝置
  • 觸摸一次探頭即可完成高壓和低壓參數(shù)的測試
  • 通過全新系統(tǒng)參考單元 (SRU) 進行全自動系統(tǒng)級校準(zhǔn)符合最新質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)
  • KTE 7 中的運行狀況檢查軟件工具最大限度地延長系統(tǒng)正常運行時間和提高數(shù)據(jù)完整性
  • 內(nèi)置的瞬態(tài)過電壓和/或過電流事件保護可最大程度地減少代價高昂的系統(tǒng)停機或?qū)斐蓳p壞

S540 功能

  • 在單次探頭觸摸中自動在多達(dá) 48 個引腳上執(zhí)行所有晶片級參數(shù)測試，包括高電壓擊穿、電容和低電壓測量，而無需更改電纜或探頭卡基礎(chǔ)設(shè)施
  • 在最高達(dá) 3kV 的條件下執(zhí)行晶體管電容測量，如 Ciss、Coss 和 Crss，而無需手動配置測試引腳
  • 在高速、多引腳、全自動測試環(huán)境中實現(xiàn)低電平測量性能
  • 非常適合于過程集成、過程控制監(jiān)控和生產(chǎn)芯片分類中的全自動或半自動應(yīng)用
  • 通過最大程度減少測試時間、測試設(shè)置時間和占地面積，降低擁有成本，同時實現(xiàn)實驗室級測量性能

S500 功能

  • 全量程源測量單元 (SMU) 儀器技術(shù)規(guī)格，包括 subfemtoamp 測量，確保在幾乎任何設(shè)備上都能執(zhí)行廣泛的測量。
  • 適用于內(nèi)存檢定、電荷泵、單脈沖 PIV（電荷陷阱分析）和 PIV 掃描（自加熱回避）的脈沖生成和超快 I-V。
  • 利用支持 Keithley 系統(tǒng)的可擴展 SMU 儀器，提供低或高通道數(shù)系統(tǒng)，包括并行測試。
  • 適用于測試功率 MOSFET 和顯示驅(qū)動器等測試器件的高電壓、電流和功率源測量儀器。
  • 開關(guān)、探頭卡和布線保證系統(tǒng)完全適用于您的 DUT。
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