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ASML暗示可遠程癱瘓旗下光刻機，都在掌控中包含最先進EUV

發(fā)布日期：2024-05-22

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5月22日消息，據(jù)外媒報道稱，ASML聲稱可以遠程癱瘓旗下售出的光刻機，這引來網(wǎng)友的圍觀。

現(xiàn)在，報道中有給出了更多有趣的細節(jié)，比如ASML表示可以遠程癱瘓（remotely disable）相應機器，包括最先進的極紫外光刻機（EUV）。

消息人士稱，EUV需要頻繁維護，如果沒有ASML提供的備件，這些機器很快就會停止工作。

此外，EUV的現(xiàn)場維護要求很高，它們被安置在無塵室內(nèi)，需要工程師穿著特殊的套裝以避免污染。

報道中還提到，ASML為某些客戶提供聯(lián)合服務合同，讓其進行一些日常維護（對機器內(nèi)部），但無法訪問客戶機器內(nèi)的專有數(shù)據(jù)。

在這之前，ASML公司CEO就曾明確表示，目前公司沒有理由不為已經(jīng)出售給中國客戶的設(shè)備提供服務，他們在中國安裝的設(shè)備沒有服務限制。

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